掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀, 但由于其本身具有許多特別的優(yōu)點(diǎn), 發(fā)展速度是很快的。

　　1 、儀器分辨率較高, 通過二次電子象能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié), 采用LaB6電子槍, 可以進(jìn)一步提高到3nm。

　　2 、儀器放大倍數(shù)變化范圍大, 且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察, 同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。

　　3 、觀察樣品的景深大, 視場大, 圖像富有立體感, 可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等, 使人具有親臨微觀世界現(xiàn)場之感。

　　4 、樣品制備簡單, 只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理, 就可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察, 因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)。

　　5、可以通過電子學(xué)方法控制和改良圖像質(zhì)量, 如亮度及反差自動保持, 試樣傾斜角度校正, 圖象旋轉(zhuǎn), 或通過Y調(diào)制改良圖象反差的寬容度, 以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器, 可在熒光屏上同時(shí)觀察放大倍數(shù)不同的圖象。

　　6、可進(jìn)行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX) 或能量色散X射線譜儀 (EDX) , 使具有電子探針的功能, 也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式, 顯示出了掃描電鏡的多功能。另外, 還可以在觀察形貌圖象的同時(shí), 對樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件, 通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動和半自動控制, 因而大幅度的提高了定量分析的速度。